一,、國(guó)內(nèi)外的研究進(jìn)展
國(guó)外在精密加工領(lǐng)域開展較早，一些國(guó)際著名的大工業(yè)集團(tuán)已經(jīng)開發(fā)出商用的大行程精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái),，例如德國(guó)PI公司,、美國(guó)Newport公司、Motorola公司,、羅克威爾等,。這些商業(yè)化的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度沒(méi)有達(dá)到最高的指標(biāo)，但是 已經(jīng)能夠比較穩(wěn)定的應(yīng)用于生產(chǎn)生活中,。
國(guó)外的一些高?？蒲袡C(jī)構(gòu)也在此領(lǐng)域有明顯進(jìn)展，Standford,，UniversityOfWisconsinMadison,，漢城國(guó)家大學(xué)及我國(guó)國(guó)立-大學(xué)都有明顯的科研成果。
1999年漢城國(guó)家大學(xué)的Pahk為半導(dǎo)體制造設(shè)備研制了XVθ三維運(yùn)動(dòng)精密定位平臺(tái),，在200mm內(nèi)可以達(dá)到10nm的定位精度,，該系統(tǒng)采用2級(jí)伺服方案，宏動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),，微動(dòng)臺(tái)采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),，雙頻激光干涉儀作為位置反饋裝置。國(guó)內(nèi)有許多單位在從事研究和生產(chǎn)超精密加工設(shè)備和儀器,，如：北京機(jī)床研究所,、清華大學(xué)、長(zhǎng)沙國(guó)防科技大學(xué),、哈爾濱工業(yè)大學(xué),、西安交通大學(xué)、長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所等單位,。但到目前為止,，國(guó)內(nèi)外對(duì)納米級(jí)微進(jìn)給平臺(tái)的研究工作大多局限于單坐標(biāo)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的方式。個(gè)別學(xué)者針對(duì)多坐標(biāo)驅(qū)動(dòng)器微進(jìn)給平臺(tái)進(jìn)行了一定的探索,，但還存在一些技術(shù)問(wèn)題,，因此無(wú)法滿足廣泛的實(shí)際工程需要。
如今國(guó)外的微細(xì)電火花加工已步入工業(yè)應(yīng)用階段,，微細(xì)電火花加工專用機(jī)床也應(yīng)運(yùn)而生,，日本松下精機(jī)、瑞士夏米爾,、阿奇,、美國(guó)麥威廉斯等公司都有較成熟的產(chǎn)品，其中日本松下精機(jī)的產(chǎn)品能加工5μm的微細(xì)孔，具有一定的代表性,。
二,、趨勢(shì)和展望
精密和超精密加工技術(shù)的發(fā)展和推廣，提高了整個(gè)機(jī)械制造業(yè)的加工精度和技術(shù)水平,，并普遍提高了機(jī)械產(chǎn)品的質(zhì)量,、性能和競(jìng)爭(zhēng)力，進(jìn)入到納米級(jí)和亞納米級(jí)加工精度是 必然的選擇,。根據(jù)我國(guó)當(dāng)前的實(shí)際情況,，參考國(guó)外的發(fā)展趨勢(shì)，我國(guó)應(yīng)該大力開展精密加工技術(shù)的研究,，其主要內(nèi)容包括以下方面,。
1)超精密加工機(jī)床技術(shù)，建立探索建立具有系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)性強(qiáng),，響應(yīng)速度快,，可用于多種 微加工方法的、低速,、多自由度的,、具有納米精度的三維極微細(xì)加工系統(tǒng),。為保證運(yùn)動(dòng)精度,，采用高精度運(yùn)動(dòng)裝置必需的全閉環(huán)反饋。對(duì)誤差進(jìn)行進(jìn)一步的修正,，并根據(jù)精密運(yùn)動(dòng)特點(diǎn)提出相應(yīng)誤差識(shí) 別的方案,，提高運(yùn)動(dòng)定位精度。
2)超精密加工刀具及加工工藝,、加工材料技術(shù),。
3)測(cè)量與控制及誤差補(bǔ)償技術(shù)；加工環(huán)境控制(包括恒溫,、隔熱,、潔凈控制等)。
4)設(shè)備的精度(動(dòng)特性和熱穩(wěn)定性),。
5)綜合利用傳統(tǒng)的加工手段,，加以復(fù)合，即采用復(fù)合加工,。
綜合應(yīng)用各種 新技術(shù),，在各方面精益求精的條件下，才有可能突破常規(guī)技術(shù)達(dá)不到的精度界限,，達(dá)到新的高精度指標(biāo),。
鑄鐵平板適用于各種 機(jī)械制造及檢驗(yàn)室檢驗(yàn)工作，精密測(cè)量用的基準(zhǔn)平面；用于機(jī)床機(jī)械檢驗(yàn)測(cè)量基準(zhǔn),；檢查零件的尺寸精度或形為偏差,，并作緊密劃線，在機(jī)械制造中也是 不可缺少的基本工具,。其中鑄鐵平板對(duì)精度要求較高,，鉚焊平臺(tái)對(duì)精度要求低，實(shí)驗(yàn)鑄鐵平板一般是 拼接使用,，如果震動(dòng)大的情況下還要和地面澆注在一起,；研磨鑄鐵平板選用球鐵材質(zhì)，其精度和光潔度是 鑄鐵平板中要求高的,。一般鑄鐵平板的使用壽命很長(zhǎng),，只要采用正確的方法使用和保放，鑄鐵平板工作面的精度可以保持使用2年以上,，鑄鐵平板精度降低時(shí)可以通過(guò)調(diào)試或刮研工藝恢復(fù),，鑄鐵平板本身的使用壽命可以達(dá)到50-100年，所以,，在使用鑄鐵平板的過(guò)程中要注意不要在潮濕,，有腐蝕、過(guò)高和過(guò)低的溫度環(huán)境下使用和存放,，這樣才可以延長(zhǎng)鑄鐵平板的使用壽命,，保證工作質(zhì)量。
鑄鐵平板是 用于工件檢測(cè)或劃線的平面基準(zhǔn)器具,。平臺(tái)安裝應(yīng)調(diào)至水平,、負(fù)荷均勻分布于各支點(diǎn)上，環(huán)境溫度（20±5℃）,，使用時(shí)應(yīng)避免震動(dòng),。如果調(diào)整溫度的過(guò)程中鑄鐵平板出現(xiàn)了熱脹冷縮的現(xiàn)象也不用擔(dān)心，這是 正?，F(xiàn)象,，只要等一段時(shí)間，鑄鐵平板就能恢復(fù),，這種 現(xiàn)象也可以當(dāng)做鑄鐵平板對(duì)溫度的適應(yīng)階段,。
適用于各種 檢驗(yàn)工作，精密測(cè)量用的基準(zhǔn)平面,，用于機(jī)床機(jī)械測(cè)量基準(zhǔn),，檢查零件的尺寸精度或形位偏差，并作精密劃線,。在機(jī)械制造中也是 不可缺少的基本工具,。工作面應(yīng)采用刮削工藝,，對(duì)于“3”級(jí)平臺(tái)工作面也可以采用刨削工藝，刨削工作表面的表面粗糙度按輪廓算術(shù)平均偏差Ra值應(yīng)不大于5μm,。
泊頭市精固誠(chéng)量具機(jī)械有限公司（原泊頭市精固誠(chéng)量具機(jī)械廠）(http://www.8225588.com)是 鑄造,、機(jī)械加工、大型機(jī)床配套的專業(yè)公司,。公司主要經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品有： 花崗石平臺(tái),、 鉗工平板、 檢驗(yàn)平板,、 劃線平板,。自90年開始我廠在非 標(biāo)產(chǎn)品和平板量具的生產(chǎn)制造過(guò)程中和全國(guó)很多大型企業(yè)進(jìn)行業(yè)務(wù)合作。
鉗工平板 http://www.8225588.com/chanpin/QGPB.html
劃線平臺(tái) http://www.8225588.com/chanpin/hxpb2102.html
大理石平臺(tái) http://www.8225588.com/chanpin/DLSPT.html
焊接工作臺(tái) http://www.8225588.com/chanpin/hanjiepingban.html