一,、國內(nèi)外的研究進(jìn)展
國外在精密加工領(lǐng)域開展較早,，一些國際著名的大工業(yè)集團(tuán)已經(jīng)開發(fā)出商用的大行程精密運動平臺，例如德國PI公司,、美國Newport公司,、Motorola公司,、羅克威爾等。這些商業(yè)化的運動平臺定位精度沒有達(dá)到最高的指標(biāo),，但是 已經(jīng)能夠比較穩(wěn)定的應(yīng)用于生產(chǎn)生活中,。
國外的一些高校科研機(jī)構(gòu)也在此領(lǐng)域有明顯進(jìn)展,，Standford,，UniversityOfWisconsinMadison，漢城國家大學(xué)及我國國立-大學(xué)都有明顯的科研成果,。
1999年漢城國家大學(xué)的Pahk為半導(dǎo)體制造設(shè)備研制了XVθ三維運動精密定位平臺,，在200mm內(nèi)可以達(dá)到10nm的定位精度,，該系統(tǒng)采用2級伺服方案,，宏動運動平臺采用直線電機(jī)驅(qū)動，微動臺采用壓電陶瓷驅(qū)動,，雙頻激光干涉儀作為位置反饋裝置,。國內(nèi)有許多單位在從事研究和生產(chǎn)超精密加工設(shè)備和儀器，如：北京機(jī)床研究所,、清華大學(xué),、長沙國防科技大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué),、西安交通大學(xué),、長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所等單位。但到目前為止,，國內(nèi)外對納米級微進(jìn)給平臺的研究工作大多局限于單坐標(biāo)驅(qū)動器驅(qū)動的方式,。個別學(xué)者針對多坐標(biāo)驅(qū)動器微進(jìn)給平臺進(jìn)行了一定的探索，但還存在一些技術(shù)問題,，因此無法滿足廣泛的實際工程需要,。
如今國外的微細(xì)電火花加工已步入工業(yè)應(yīng)用階段，微細(xì)電火花加工專用機(jī)床也應(yīng)運而生,，日本松下精機(jī),、瑞士夏米爾、阿奇,、美國麥威廉斯等公司都有較成熟的產(chǎn)品,，其中日本松下精機(jī)的產(chǎn)品能加工5μm的微細(xì)孔，具有一定的代表性,。
二,、趨勢和展望
精密和超精密加工技術(shù)的發(fā)展和推廣，提高了整個機(jī)械制造業(yè)的加工精度和技術(shù)水平,，并普遍提高了機(jī)械產(chǎn)品的質(zhì)量,、性能和競爭力,，進(jìn)入到納米級和亞納米級加工精度是 必然的選擇。根據(jù)我國當(dāng)前的實際情況,，參考國外的發(fā)展趨勢,，我國應(yīng)該大力開展精密加工技術(shù)的研究，其主要內(nèi)容包括以下方面,。
1)超精密加工機(jī)床技術(shù),，建立探索建立具有系統(tǒng)聯(lián)動性強(qiáng)，響應(yīng)速度快,，可用于多種 微加工方法的,、低速、多自由度的,、具有納米精度的三維極微細(xì)加工系統(tǒng),。為保證運動精度，采用高精度運動裝置必需的全閉環(huán)反饋,。對誤差進(jìn)行進(jìn)一步的修正,，并根據(jù)精密運動特點提出相應(yīng)誤差識 別的方案，提高運動定位精度,。
2)超精密加工刀具及加工工藝,、加工材料技術(shù)。
3)測量與控制及誤差補(bǔ)償技術(shù),；加工環(huán)境控制(包括恒溫,、隔熱、潔凈控制等),。
4)設(shè)備的精度(動特性和熱穩(wěn)定性),。
5)綜合利用傳統(tǒng)的加工手段，加以復(fù)合,，即采用復(fù)合加工,。
綜合應(yīng)用各種 新技術(shù)，在各方面精益求精的條件下,，才有可能突破常規(guī)技術(shù)達(dá)不到的精度界限,，達(dá)到新的高精度指標(biāo)。
鑄鐵平板適用于各種 機(jī)械制造及檢驗室檢驗工作,，精密測量用的基準(zhǔn)平面,；用于機(jī)床機(jī)械檢驗測量基準(zhǔn)；檢查零件的尺寸精度或形為偏差,，并作緊密劃線,，在機(jī)械制造中也是 不可缺少的基本工具。其中鑄鐵平板對精度要求較高，鉚焊平臺對精度要求低,，實驗鑄鐵平板一般是 拼接使用,，如果震動大的情況下還要和地面澆注在一起；研磨鑄鐵平板選用球鐵材質(zhì),，其精度和光潔度是 鑄鐵平板中要求高的,。一般鑄鐵平板的使用壽命很長，只要采用正確的方法使用和保放,，鑄鐵平板工作面的精度可以保持使用2年以上,，鑄鐵平板精度降低時可以通過調(diào)試或刮研工藝恢復(fù)，鑄鐵平板本身的使用壽命可以達(dá)到50-100年,，所以,，在使用鑄鐵平板的過程中要注意不要在潮濕，有腐蝕,、過高和過低的溫度環(huán)境下使用和存放,，這樣才可以延長鑄鐵平板的使用壽命，保證工作質(zhì)量,。
鑄鐵平板是 用于工件檢測或劃線的平面基準(zhǔn)器具,。平臺安裝應(yīng)調(diào)至水平,、負(fù)荷均勻分布于各支點上,，環(huán)境溫度（20±5℃），使用時應(yīng)避免震動,。如果調(diào)整溫度的過程中鑄鐵平板出現(xiàn)了熱脹冷縮的現(xiàn)象也不用擔(dān)心,，這是 正常現(xiàn)象,，只要等一段時間,，鑄鐵平板就能恢復(fù)，這種 現(xiàn)象也可以當(dāng)做鑄鐵平板對溫度的適應(yīng)階段,。
適用于各種 檢驗工作,，精密測量用的基準(zhǔn)平面，用于機(jī)床機(jī)械測量基準(zhǔn),，檢查零件的尺寸精度或形位偏差,，并作精密劃線。在機(jī)械制造中也是 不可缺少的基本工具,。工作面應(yīng)采用刮削工藝,，對于“3”級平臺工作面也可以采用刨削工藝，刨削工作表面的表面粗糙度按輪廓算術(shù)平均偏差Ra值應(yīng)不大于5μm,。
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