蘇州超純水設(shè)備|電子行業(yè)超純水設(shè)備

【邊虹玉】

集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質(zhì)的要求也越高.目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)等級,分別為18MΩ.cm,、15MΩ.cm、10MΩ.cm,、2MΩ.cm,、Ω.cm,以區(qū)分不同水質(zhì).

工藝簡介

電子,、半導體、液晶顯示,、光伏工業(yè)生產(chǎn)在制作過程中,往往需要使用極其純凈的超純水.如果純水水質(zhì)達不到生產(chǎn)工藝用水的要求或者水質(zhì)不穩(wěn)定的話,會影響到后續(xù)工藝的處理效果和使用壽命.在光伏行業(yè)電子管生產(chǎn)中,如其中混入雜質(zhì),就會影響電子的發(fā)射,進而影響電子管的放大性能及壽命,在顯像管和陰極射線管生產(chǎn)中,其熒光屏內(nèi)壁用噴涂法或沉淀法附著一層熒光物質(zhì),如其配制純水中含銅在8ppb以上,就會引起發(fā)光變色;含鐵在50ppb以上就會使發(fā)光變色,、變暗、閃動并會造成氣泡、條跡,、漏光點等廢次品.

工藝流程

1,、采用離子交換方式,其流程如下:自來水→電動閥→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過濾器→陽樹脂床→陰樹脂床→陰陽樹脂混合床→微孔過濾器→用水點

2、采用兩級反滲透方式,其流程如下:自來水→電動閥→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過濾器→一級反滲透主機→PH調(diào)節(jié)→混合器→二級反滲透主機(反滲透膜表面帶正電荷)→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

3,、采用高效反滲透加EDI方式,其流程如下(最新工藝性價比最高):自來水→電動閥→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→PH值調(diào)節(jié)系統(tǒng)→高效混合器→精密過濾器→高效反滲透→中間水箱→EDI水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點

三種工藝比較

制備電子工業(yè)超純水的工藝基本上是以上三種,其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進行不同組合搭配衍生而來.現(xiàn)將他們的優(yōu)缺點分別列于下面:

第一種采用傳統(tǒng)的離子交換樹脂其優(yōu)點在于初次投資少,占用的地方少,但缺點就是需要經(jīng)常進行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環(huán)境有一定的破壞.

第二種采用反滲透+離子交換設(shè)備,其特點為初次投資比采用離子交換樹脂方式要稍高,但離子再生周期相對要長,耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多.是比較經(jīng)濟與流行的一種工藝.

第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子裝置,這是目前制取超純水最先進,最環(huán)保的的工藝,不需要用酸堿進行再生便可連續(xù)制取超純水,對環(huán)境沒什么破壞性.其缺點在于初次投資相對以上兩種方式過于昂貴.

設(shè)備特點

電子工業(yè)超純水設(shè)備通常由多介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器,、精密過濾器等構(gòu)成預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng),、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng).原水箱,、中間水箱、RO純水水箱,、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng),、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表,、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人值守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價比和設(shè)備可靠性.