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| 規(guī)格(mm) | 測量面對(duì)基面垂直度 (um) | 測量面平面度或直線度 (um) | 基面平面度或直線度 (um) | |||
| 精度等級(jí) | ||||||
| 00 | 0 | 00 | 0 | 00 | 0 | |
| 100×63 | 2 | 4 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 160×100 | 2 | 4 | 1 | 2 | 1 | 1 |
| 250×160 | 5 | 1 | 2 | 1 | 2 | |
| 400×250 | 7 | 1 | 1 | 2 | ||
| 630×400 | 9 | 3 | 1 | |||
| 800×500 | 5 | 10 | 2 | 4 | 3 | |
| 1000×630 | 6 | 12 | 5 | 3 | ||
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