在真空腔體內(nèi),水汽分子是最典型的環(huán)境污染氣體,占腔內(nèi)殘余氣體 65% 到 95% ,當(dāng)真空度達(dá)到 10-2Pa時(shí),水汽分子用平常真空泵難排出腔體,是典型的最具副作用的污染氣體,是工件的污染源,從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響.為了快速的達(dá)到較高的真空度,COOL系列水汽深冷泵快速捕集和吸附真空腔內(nèi)的水汽,輔助抽真空,在極短的時(shí)間達(dá)到需求的真空度

COOL系列水汽深冷捕集泵工作原理將一個(gè)冷阱盤管或擋板,放置在真空室內(nèi)的腔壁上或油擴(kuò)散泵的泵口,通過制冷盤管表面,實(shí)現(xiàn)低溫冷凝效應(yīng),迅速捕集集真空泵統(tǒng)的水汽分子或其它殘余氣體分子,從而獲得潔凈的真空環(huán)境,提高產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量,改善鍍膜的品質(zhì),提高薄膜的附著力和多層鍍膜能力.

COOL系列水汽深冷捕集泵有單級(jí)和雙級(jí)的配置,雙級(jí)制冷可單獨(dú)控制每一路的制冷,兩路冷阱盤管或擋板都能被快速除霜.