等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機,或者等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果.等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài).對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài).等離子體的"活性"組分包括:離子,、電子,、原子、活性基團(tuán),、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài)),、光子等.等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的.

等離子清洗機采用多組伺服電機控制,清洗深度,高度,寬度等方向可設(shè)置參數(shù)調(diào)節(jié),可選配多種類型噴嘴,使用于不同場合,滿足各種不同產(chǎn)品和處理環(huán)境;主要應(yīng)用于電子行業(yè)的手機殼印刷,、涂覆,、點膠等前處理,手機屏幕的表面處理;國防工業(yè)的航空航天電連接器表面清洗;通用行業(yè)的絲網(wǎng)印刷、轉(zhuǎn)移印刷前處理等.

等離子體和固體,、液體或氣體一樣,是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài).對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài).等離子體的"活性"組分包括:離子,、電子、活性基團(tuán),、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài)),、光子等.等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、改性,、光刻膠灰化等目的.

等離子清洗的原理:等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài),、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,如地球大氣中電離層中的物質(zhì).等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì):處于高速運動狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子,、分子,、原子團(tuán)(自由基);離子化的原子、分子;未反應(yīng)的分子,、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài).

在真空腔體里,通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體,通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面．以達(dá)到清洗目的．

等離子清洗/刻蝕機產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個電極形成電場,用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體,從而達(dá)到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要.利用等離子處理時會發(fā)出輝光,故稱之為輝光放電處理.

等離子體清洗的機理,主要是依靠等離子體中活性粒子的"活化作用"達(dá)到去除物體表面污漬的目的.就反應(yīng)機理來看,等離子體清洗通常包括以下過程:無機氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應(yīng)殘余物脫離表面.

等離子體清洗技術(shù)的最大特點是不分處理對象的基材類型,均可進(jìn)行處理,對金屬,、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料,如聚丙烯,、聚脂,、聚氯乙烷、環(huán)氧,、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,并可實現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗.

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