整機(jī)型號(hào)

S600

整機(jī)尺寸

1000mm×900mm×1500m

水槽尺寸

650mm×650mm×200mm;

最大掃描范圍

單通道C掃:500mm×320mm×150mm

C掃+T掃:500mm×220mm×150mm

雙通道C掃:500mm×600mm×150mm

典型掃描耗時(shí)

TBD

最大掃描速度

600mm/s

圖像推薦分辨率

1～4000um

厚度檢測(cè)范圍

根據(jù)客戶(hù)工件的材料和厚度選配

定位精度

X/Y≤±1μm,Z≤±10μm

重復(fù)定位精度

X/Y≤±,Z≤±

超聲采集卡

采樣頻率100 MHz -

脈沖發(fā)生器

頻率范圍:1-500MHz

超聲探頭

C掃探頭:頻率:5 ~ 110MHz,焦距:3 ~ 150mm

T掃探桿:頻率:10 ~ 20MHz,焦距: ~

標(biāo)準(zhǔn)塊測(cè)量誤差

測(cè)量機(jī)械加工的標(biāo)準(zhǔn)塊,在軟件進(jìn)行強(qiáng)度校準(zhǔn)的前提下,超聲檢測(cè)多次測(cè)量誤差在±1%.

工件測(cè)量誤差

選取TO系列,、SOT系列,、SOP等系列工件,采用同一處方重復(fù)掃描三次,三次結(jié)果的空洞率差值在±1%以?xún)?nèi).

厚度測(cè)量范圍

EProxy材料:

~ 2mm(50MHz探頭)

~ (15MHz探頭)

Cu材料:

~ (25MHz探頭)

~ (15MHz探頭)

注:根據(jù)客戶(hù)工件的材料和厚度選配探頭

缺陷識(shí)別能力

在測(cè)量系統(tǒng)厚度能力范圍內(nèi),被測(cè)材料聲速在標(biāo)準(zhǔn)材料聲速±5%以?xún)?nèi)的情況下,且超聲入射表面為平面的被測(cè)產(chǎn)品的水平方向的結(jié)合缺陷的識(shí)別能力為毫米(15MHz、25MHz探頭)和毫米(50MHz探頭).