產(chǎn)品描述
手套箱蒸鍍一體機(jī)
工作原理
本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放,、制備以及蒸鍍后樣品的檢測.
設(shè)備用途
主要用于太陽能電池鈣鈦礦,、OLED和PLED、半導(dǎo)體制備等實(shí)驗(yàn)研究與應(yīng)用.
優(yōu)點(diǎn)
蒸發(fā)鍍膜與真空手套箱組合,實(shí)現(xiàn)蒸鍍,、封裝,、測試等工藝全封閉制作,使整個(gè)薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中,消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了高性能、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備.
多功能磁控濺射鍍膜系統(tǒng)
主要用途
用于制備各種金屬膜,、半導(dǎo)體膜,、介質(zhì)膜、磁控膜,、光學(xué)膜,、超導(dǎo)膜、傳感膜以及各種特殊需求的功能薄膜.