新的Precis? 200是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測系統(tǒng)做出來,采用了VMM 公司好的設(shè)計和技術(shù).

, 新款Precis 包含了很多可配置選項,使設(shè)備好通用可某靠.

擴展了Z軸范圍 – , 5mm or 100mm

透射照明

完整電子繪圖 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 標(biāo)準(zhǔn)

符合人體工程學(xué)的操作員控制臺 ,帶有隱藏鍵盤托盤, 可調(diào)節(jié)高度和角度的控制面板和顯示器, SEMI S8 符合

全自動顯微鏡,所有設(shè)置計算機控制

某佳分辨率像素攝像頭

VIEW Metrology Software (VMS?) 可測組件很廣泛, 可選CAD導(dǎo)入 以及完整的幾何尺寸和公差導(dǎo)入.

MMWin – 晶圓片 和Mask計量軟件 –晶圓片的重要尺寸和迭置重合測量, 滑塊 ABS,光掩模和平板顯示器.

標(biāo)準(zhǔn)                        可選

X,Y,Z行程(mm):        200 x 200 x 5               載重:                 12 kg

XY精度:                    E1=(+2L/1000)um

Z 精度:                     E1=()um (with use of a 100X lens)

分辨率:                     微米

視場測量精度和重復(fù)性: μm (100x)

直流伺服馬達(dá)驅(qū)動