化學氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理,。

技術特征
可根據(jù)客戶需求設計尺寸,，能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求,；
采用多溫區(qū)獨立控溫,，溫度均勻性好,；
采用特殊結構沉積室,，密封效果好,，抗污染能力強,；
采用多通道沉積氣路,，流場均勻，無沉積死角,，沉積效果好,；
對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵,、有機氣體等能進行有效處理,。

主要配置
爐門：鉸鏈回轉式/臺車平移式；手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊      
爐殼：全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽：軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC   
加熱器,、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
工藝氣路系統(tǒng)：體積/質量流量計,；手動閥/自動閥；進口/國產    
真空泵和真空計：進口/國產 
人機界面：模擬屏/觸摸屏/工控機     
PLC：歐姆龍/西門子
控溫儀表：日本島電/英國歐陸   
熱電偶：C分度號/S分度號/K分度號/N分度號
記錄儀：無紙記錄儀/有紙記錄儀,；進口/國產   
電器元件：正泰/施耐德/西門子
料車：滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車

頂立科技臥式化學氣相沉積爐（沉積炭）材料表面或基體等溫處理是湖南頂立科技有限公司的主要產品,我們的產品負責人是羊橋,我們的地址是湖南省長沙暮云經濟開發(fā)區(qū)頂立科技園,期待與您的合作!