該化學(xué)氣相沉積爐（碳化硅）可用于以硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層,、基體改性等,。

技術(shù)特征
可根據(jù)客戶需求設(shè)計(jì)尺寸,，能滿足超大型工件化學(xué)氣相沉積處理需求；
采用先進(jìn)的控制技術(shù),，能精密控制MTS的流量和壓力,，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍??；
采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好,，抗污染能力強(qiáng),； 
采用多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻,，無(wú)沉積死角,，沉積效果好；
對(duì)沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣,、易燃易爆氣體,、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理,；
采用最新設(shè)計(jì)防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),，維修率極低,。

主要配置
爐門(mén)：手動(dòng)鎖緊/自動(dòng)鎖圈鎖緊       
爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽：軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC    
加熱器、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨
工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計(jì)/手動(dòng)閥/自動(dòng)閥/進(jìn)口/國(guó)產(chǎn) 
真空泵和真空計(jì)：進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)
PLC：歐姆龍/西門(mén)子          
控溫儀表：日本島電/英國(guó)歐陸 
熱電偶：C分度號(hào)/S分度號(hào)/K分度號(hào)/N分度號(hào)      
記錄儀：無(wú)紙記錄儀/有紙記錄儀,；進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)
人機(jī)界面：模擬屏/觸摸屏/工控機(jī)  
電器元件：正泰/施耐德/西門(mén)子
料車(chē)：滾道式/叉車(chē)式/疊加式超長(zhǎng)傳輸料車(chē)

頂立科技臥式化學(xué)氣相沉積爐SIC,表面抗氧化涂層,、基體改性是湖南頂立科技有限公司的主要產(chǎn)品,我們的產(chǎn)品負(fù)責(zé)人是羊橋,我們的地址是湖南省長(zhǎng)沙暮云經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)頂立科技園,期待與您的合作!