隨著半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)規(guī)模擴大和技術(shù)升級,，噴涂廢氣處理設(shè)備其在各行業(yè)發(fā)揮著越來越重要的作用。近幾年,，半導(dǎo)體工業(yè)迅猛發(fā)展,，合資、獨資建成投產(chǎn)十幾條生產(chǎn)線,。由于在集成電路生產(chǎn)過程要求在高潔凈度廠房進行,，但生產(chǎn)工藝中需要使用有機和無機化學(xué)藥品,，所以，通風(fēng)排氣對于生產(chǎn)十分重要,。我國半導(dǎo)體工業(yè)起步較晚,，所以相應(yīng)的廢氣凈化技術(shù)比較落后，一般在引進生產(chǎn)線的同時引進廢氣凈化設(shè)施,，投資及運行成本很高,，如何消化吸收國外先進的廢氣凈化工藝，選擇合適的工藝保證穩(wěn)定生產(chǎn)和達標,，對于新建和改擴建廢氣處理系統(tǒng)非常重要,。
汽車涂裝是油漆消耗的大戶，由于成本和技術(shù)的-,，我國汽車涂裝大部分使用電泳底漆+有機溶劑型漆,。VOC有機廢氣處理以生產(chǎn)一輛小型轎車為例，消耗陰極電泳底漆10kg以上,，有機溶劑型油漆(中涂,、面漆、罩光漆等)5kg以上,，商用車如卡車,、客車等用量更大。電泳底漆烘干過程中產(chǎn)生大量具有刺激性惡臭氣味的油煙,、有機溶劑型油漆噴漆及烘干過程中揮發(fā)的溶劑均為有機成分,。在汽車涂裝過程中，除少量漆膜(占油漆總重量的40%以下)附著在車身表面外,，其它有機成分均揮發(fā)于空氣中形成有機廢氣,。以年產(chǎn)800萬輛汽車，車均用漆15kg,，固化后成分占噴漆總量40%計算,，每年有機成分排放量為7.2萬t，汽車涂裝有掃L廢氣的排放己經(jīng)成為一個突出的環(huán)境問題,。
噴涂廢氣處理設(shè)備有機廢氣對環(huán)境的危害甚大,。人如果長期吸入低濃度的有機廢氣會引發(fā)咳嗽、胸悶,、氣喘甚至肺氣腫等慢性呼吸道疾病,，油漆溶劑中的甲醛、苯類化合物等成分是目前公認的強烈致癌物,。除此之外,，有機廢氣對光化學(xué)煙霧、酸雨的形成起著非常重要的作用。由于有機廢氣的危害性,，我國對有機廢氣的排放一直有著嚴格的控制,，現(xiàn)行標準為1997年1月1日實施的GB16297-1996《大氣污染物綜合排放標準》(以下簡稱《標準》)。
UV光氧催化設(shè)備一般是通過將有機廢氣中的有機成分和空氣中的氧氣反應(yīng)發(fā)生分解,，一些低毒的化合物(如鹵代烴和氧氣反應(yīng)后可以產(chǎn)后鹵酸),。常溫下廢氣中的有機成分和氧氣小反應(yīng)，在廢氣處理設(shè)備的高溫,、催化等條件下,，廢氣中的有機成分發(fā)生分解從而使廢氣得到凈化。
半導(dǎo)體生產(chǎn)可分為擴散工序和組裝兩大工序也稱前工序和后工序,。UV光氧催化設(shè)備在前工序的有機剝離,、涂布、光刻等工藝環(huán)節(jié)產(chǎn)生大量的有機廢氣,，為了使污染物達到國家排放標準,，一期工程引進了日本生產(chǎn)的兩臺有機廢氣處理塔及配套的廢液焚燒爐，使用過程中發(fā)現(xiàn)設(shè)備運行成本高,。在擴建工程中,，經(jīng)過對各種有機廢氣處理方法及設(shè)備工作的原理分析,，動力消耗,、處理成本比較，選擇了北京中航銀燕環(huán)保技術(shù)發(fā)展中心制造的固定床式活性炭有機廢氣處理塔,，節(jié)省投資160萬元人民幣,，一年的使用和廢氣排放監(jiān)測證明，VOC有機廢氣處理設(shè)備運行穩(wěn)定,，處理效果達到國家排放標準,，并且節(jié)約了運行費用30萬元，經(jīng)濟效益顯著,，同時為今后擴建廢氣處理工程積累了寶貴經(jīng)驗,。
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